皮拉尼真空計TRP-11在半導體行業的運用

發布日期：2023-09-24      瀏覽次數：1673

皮拉尼真空計TRP-11在半導體行業的運用

真空測量就是真空度的測量，而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。以壓力表示真空度是由于歷史沿用下來的并不十分合理。壓力高意味著真空度低；反之，壓力低與真空度高相對應。真空計（Vacuum Gauge），又名真空表就是依據各種原理制作成用來測量真空狀態下壓力大小的真空傳感器，由柵極、燈絲、收集極組成,其特征在于有上、下端柵的鼠籠式柵極，環形燈絲，與小子羊柵極長度的處于柵極內部的短收集極的同軸組合結構，并且利用真空連接管導。
談到半導體技術，就繞不開真空行業。由于半導體制造與封測技術的復雜性，從晶圓裸片到芯片成品，中間需要經過氧化、濺鍍、光刻、刻蝕、離子注入、以及封裝等上百道特殊的工藝步驟，其中多個步驟都離不開真空環境。就半導體應用設備而言，電子加速、光電器件、電子材料、射線管、晶振、激光、離子注入設備、離子刻蝕機、CVD、PECVD，PVD、分子束外延設備、集成電路封裝等等，均會用到中高真空，所有設備真空腔體的真空度檢測主要是用真空規，一般前級真空一個，本底和工藝監控各一個，都選的是進口的真空計，皮拉尼、熱電離規、電容薄膜規等。




皮拉尼真空計TRP-11



特征

■可測量從5×10-2Pa到大氣壓的大范圍壓力

■數字電路顯著提高了溫度校正功能，實現了高精度。

■數字電路和燈絲結構使其輕巧緊湊。

■壓力輸出比例DC 0至10 V（輸出分辨率14位），并且可以使用Log線性輸出通過數學公式轉換壓力。

■傳感器TRP-11由DC 12至30 V的電源電壓驅動，顯示器用于AC 100 至 240 V 范圍。 可能通過集成傳感器控制電路，可以在沒有電源指示燈的情況下使用，從而節省空間。

■標準配備 RS-485 數字通信，非常適合自動化。

■ATM（大氣壓）/VAC（高真空）可通過按鈕開關調節

■狀態 LED 功能提高傳感器狀態的可視性

■各種過程中的壓力 非常適合監控

■TRP-11SP（可選）配備 2 個設定點，可用作真空開關。

■使用內置開關可以輕松設置設定點。 

原理分析圖