CHINO溫度計在半導體晶圓表面拋光溫度測量上的運用

發布日期：2024-07-12      瀏覽次數：962

CHINO溫度計在半導體晶圓表面拋光溫度測量上的運用

●適合裝置組裝的緊湊的檢測部

●可追隨溫度變化的高速響應

在半導體宇工哈的電腦技術置中，通過研磨晶片直至達到與基座相同的高度，從而達到規定的厚度。研究星期一開始調查后，晶片和基座之間會產生溫度差，但如果晶片達到與基座相同的高度，則溫度差消失。通過用放射溫度計測定研磨面的溫度，可以判斷研磨結束。

光狀態可以通過溫度確定，利用反饋優化加工過程

相關產品

• 小型紅外輻射溫度計IR-BZP
  

• IR-BZ系列將檢測部與主體分離，檢測部更小，可在高溫環境下使用。配備數字溫度顯示和參數設定功能，實現穩定測量。

• 即使環境溫度發生變化，也可以進行高精度和穩定的測量。

• 兼容要求15ms跟隨性的生產線

• 范圍寬，從低溫范圍（0至1000℃）

• 圖形記錄儀KR2000寬144x高144毫米
  

• KR2000系列是一款兼容網絡的無紙記錄儀，采用5.6英寸TFT彩色液晶顯示屏，具有出色的可視性，兼具高功能性和可操作性。采集周期約為100ms，精度為±0.1%FS，實現高速、高精度。測量數據可保存在內存和最大8GB的緊湊型閃存卡（CF卡）中。可以使用網絡瀏覽器屏幕從內聯網或互聯網上的多臺計算機進行監控，并且可以通過 FTP 傳輸數據文件或通過電子郵件發送數據文件。

• 配備出色的可操作性和廣泛的記錄功能，網絡兼容無紙記錄儀，并支持自定義圖形

• 共22種多量程輸入（直流電壓、熱電偶、測溫電阻）

• 配備趨勢顯示、棒圖顯示、數值顯示等多種顯示功能。

• 最大8GB的CF卡可用于數據記錄，因此可以長期連續記錄。

• 配備算術、比較、邏輯運算等計算功能，還可以對輸入數據進行預定運算并顯示和記錄。

• 報警輸出和上/下通訊可供選擇。可以使用下層通信記錄來自市售PLC*的數據，也可以從KR2000將數據寫入PLC。（*PLC 型號有限制。）

• 通過使用可選的自定義圖形功能，用戶在 PC 上創建的圖形屏幕（使用 KR Screen Designer，單獨出售）可以顯示在 KR 上。

• 測量數據記錄在內存和CF卡中，并且可以在主機上回放。此外，通過使用分析/數據采集應用軟件TRAMS，您可以輕松回放、顯示和編輯記錄儀采集的數據文件。

• 圖形記錄儀KR3000寬288x高288毫米
  

• KR3000系列是一款兼容網絡的無紙記錄儀，采用可視性佳的12.1英寸TFT彩色液晶顯示屏和觸摸屏操作系統，功能強大且易于操作。采集周期約為100ms/所有點，精度為±0.1%FS的高速和高精度。測量數據可保存在內存和最大8GB的緊湊型閃存卡（CF卡）中。可以使用網絡瀏覽器屏幕從內聯網或互聯網上的多臺計算機進行監控，并且可以通過 FTP 傳輸數據文件或通過電子郵件發送數據文件。

• 配備出色的可操作性和廣泛的記錄功能，網絡兼容無紙記錄儀，并支持自定義圖形

• 共22種多量程輸入（直流電壓、熱電偶、測溫電阻）

• 配備趨勢顯示、棒圖顯示、數值顯示等多種顯示功能。

• 最大8GB的CF卡可用于數據記錄，因此可以長期連續記錄。

• 配備算術、比較、邏輯運算等計算功能，還可以對輸入數據進行預定運算并顯示和記錄。

• 報警輸出和上/下通訊可供選擇。可以使用下層通信記錄來自市售PLC*的數據，也可以從KR3000將數據寫入PLC。（*PLC 型號有限制。）

• 測量數據記錄在內存和CF卡中，并且可以在主機上回放。此外，通過使用分析/數據采集應用軟件TRAMS，您可以輕松回放、顯示和編輯記錄儀采集的數據文件。

• 通過使用可選的自定義圖形功能，用戶在 PC 上創建的圖形屏幕（使用 KR Screen Designer，單獨出售）可以顯示在 KR 上。