用于半導體和電子元件等各種制造設備的高真空區域檢測設備分析

發布日期：2024-11-12 瀏覽次數：699

用于半導體和電子元件等各種制造設備的高真空區域檢測設備分析

這是新系列的傳感器式真空計“G-TRAN系列多離子真空計"，可以連接不同測量范圍的探頭。本產品為BA型電離真空計，可測量超高真空。在繼承了寬范圍壓力測量和低運行成本的傳統理念的同時，我們進行了改進，使其更加人性化。

目的

用于半導體和電子元件等各種制造設備的高真空區域的過程控制。
用于檢查直列式、單晶圓式等具有多個處理室的各種制造設備的高真空區域的極限壓力。
用于高真空和超高真空設備中的壓力測量

特征

可連接不同測量范圍的探頭：多離子計允許根據應用選擇探頭。
緊湊：明顯小于傳統產品（控制器體積減少 56%），最小級別
提高可用性：可通過 PC/智能手機連接進行設定點設置、狀態確認等
產品陣容豐富：除了模擬輸出規格（SH200-A）和串行通信規格（SH200-R）外，還將增加EtherCAT規格（SH200-E）。
燈絲壽命通知功能：通過監控燈絲功率，可以提前通知燈絲壽命。
壓力測量范圍廣：可測量從大氣壓到高真空區域（1×10 +5～ 5×10 -8 Pa）（連接選購件SWU10-R時）
精確的大氣壓力測量：可以檢查腔室開口的大氣壓力（當連接可選單元 SAU 時）

規格

模型		SH200-A	SH200-R	SH200-E（預定發售）
規格		標準規格	串行通訊規格	EtderCAT 規格
適應性強的多離子規傳感器		M-44(NW16)、M-45(NW25)、M-46(ICF070)
可連接的傳感器		多離子壓力傳感器：1 件皮拉尼壓力計 SWU10-R：1 件（可選）大氣壓力傳感器 SAU：1 件（可選）
重復性（N 2）		SH200單模：±2%
采樣時間		60ms 5次移動平均處理
測量值輸出		輸出電壓 DC 0 至 10V LOG 輸出 0.75V/1 位壓力轉換公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^
更新時間		60毫秒
控制輸入信號		FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 集電極開路輸入、負邏輯 * FIL ON/OFF 信號的使用方法因模式而異	-	-
控制輸出信號		傳感器錯誤、設定點 1/2/3、發射有效、燈絲功率監控額定值：最大24V 、最大50mA 、飽和電壓 1V	-	-
串行通訊規格		-	RS232C/RS-485	埃特CAT
LED顯示屏		POWER/ERROR：電源、錯誤 LED（閃爍狀態根據每種模式而變化）
LED顯示屏		SET1：設定點 1 LED SET2：設定點 2 LED SET3：設定點 3 LED	-	-
發射電流		1mA（1×10 -3 Pa以下）、10μA（1×10 -3 Pa以上）
脫氣		電子轟擊法（電子轟擊）1mA，330V
傳感器耐壓		2×10 + 5Pa（絕對壓力） * 必須單獨考慮法蘭、卡箍等的耐壓性能。
傳感器內容積		17厘米3（M-44）、19厘米3（M-45）、17厘米3（M-46）
工作溫度范圍		10～50℃
工作濕度范圍		15 至 80%（無冷凝）
儲存溫度		-20～65℃（不通電時不結露）
IP防護等級		IP30
電源電壓		DC20~28V（紋波、噪聲1%以下），8W以下
輸入/輸出連接器		D-sub15針（M2.6螺絲）
大量的		控制器：約280g 測量點（M-44、M-45）：80g、（M-46）：300g
外形尺寸寬×深×高		69mm×63mm×90mm（控制器部分）
兼容標準		C.E.
選項	多離子計傳感器	M-44(NW16)、M-45(NW25)、M-46(ICF070) 材質：燈絲 1,2 -Ir/Y 2 O 3涂層其他：PtC-Mo、SUS304、W、Kovar 玻璃、Kovar/Ni電鍍
	皮拉尼壓力計	SWU10-R *也兼容傳統SPU
	皮拉尼壓力傳感器	SWP-16 (NW16)、SWP-25 (NW25)、SWP-R1/8 (R1/8)、SWP-P18 (Φ18 管端)、SWP-P15 (Φ15 管端) 材質：燈絲 - Pt、其他 - BS/Ni，鍍層，Ni，焊料
	大氣壓力傳感器	SAU(NW16) 材質：SUS316L
	單元電纜	GUC-200P（用于 SWU）：0.5m、1m、2m GUC-200A（用于 SAU）：0.5m、1m、2m
	顯示單元	1CH：ISG1（使用DC24V供電）
	顯示單元電纜	SH200至顯示單元電纜 2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m
	連接器	輸入/輸出連接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺絲））
	其他的	檢驗報告、一般校準測試報告、JCSS校準證書

每種模式的規格

SH200-A/SH200-R/SH200-E可采用三種方式使用：多油表獨立模式、與皮拉尼表組合模式、皮拉尼表與大氣壓力傳感器三重組合模式。

模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E 單模	SH200-A/SH200-R/SH200-E +SWU10-R 組合模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E +SWU10-R+SAU 組合模式
測量壓力范圍	5.0×10 -8 ~1.0×10 +1 Pa	5.0×10 -8 ~1.0×10 +5 Pa	5.0×10 -8 ~1.0×10 +5 Pa
測量精度	5.0×10 -8 ~1.0×10 +1 Pa： ±15%	5.0×10 -8～4.0×10 -1 Pa：±15% 4.0×10 -1～3.0×10 +0 Pa：±10～±15% 3.0×10 +0～1.0×10 +4 Pa：±10 % 1.0×10 +4～1.0×10 + 5Pa：±20%	5.0×10 -8～4.0×10 -1 Pa：±15% 4.0×10 -1～3.0×10 +0 Pa：±10～±15% 3.0×10 +0～1.0×10 +4 Pa：±10 % 1.0×10 +4 ~3.0×10 +5 Pa: ±3%FS (3.0×10 +3 Pa·參考溫度25℃)
連接圖
測量壓力范圍圖像	當需要“大氣壓力"確認時，例如打開腔室時，使用三重組合。