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日本芝浦電子shibaura羅茨泵 TMB系列

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更新日期:2025-05-02

簡要描述:

日本芝浦電子shibaura羅茨泵 TMB系列
由于使用電機直接連接型,因此幾乎不會產生灰塵。
減少振動和噪音
易于維護和檢查的結構
逆變器控制(可選)可實現大氣壓下的排氣

日本芝浦電子shibaura羅茨泵 TMB系列

日本芝浦電子shibaura羅茨泵 TMB系列

 

TMB系列的特點

  • 由于使用電機直接連接型,因此幾乎不會產生灰塵。
  • 減少振動和噪音
  • 易于維護和檢查的結構
  • 逆變器控制(可選)可實現大氣壓下的排氣

TMB系列陣容

模型

類型

單位單位

TMB-302

TMB-600

設計排氣速度

位移位移

50 Hz,m 3 /小時

250

500

60 Hz,m 3 /小時

300

600

到達壓力

極限壓力

10 -2

10 -2

吸入側臨界壓力

z大工作壓力

50 Hz,m 3 /小時

2.7 2.7

2.7 2.7

60 Hz,m 3 /小時

2

2

所需馬達

發動機

V,相,千瓦

200、3、0.75

200、3、2.2

轉速

轉速

50 Hz,m 3 /小時

3,000

1,500

60 Hz,m 3 /小時

3,600

1,800

進氣口

入口

 

VF-80

VF-80

排氣口

出口

 

VF-80

VF-80

用油

泵油

 

露臺油S46

露臺油S46

油量

油容量

大號

1個

2.8

大眾

大眾

公斤

93

242

尺寸(寬x深x高)

尺寸尺寸

毫米

708 x 320 x 250

963 x 416 x 350

冷卻方式

冷卻系統

 

風冷

風冷

冷卻水量

冷卻水

升/分鐘

---

---

輔助泵

后備泵

 

DRP-1500,RP-1200ZⅡ

DRP-1500

日本芝浦電子shibaura羅茨泵 TMB系列 

模型

類型

單位單位

TMB-1500

TMB-2500

設計排氣速度

位移位移

50 Hz,m 3 /小時

1,350

2,070

 

 

60 Hz,m 3 /小時

1,630

2,500

到達壓力

極限壓力

10 -2

10 -2

吸入側臨界壓力

z大工作壓力

50 Hz,m 3 /小時

2

2

 

 

60 Hz,m 3 /小時

1.3 1.3

1.3 1.3

所需馬達

發動機

V,相,千瓦

200、3、3.7

200、3、5.5

轉速

轉速

50 Hz,m 3 /小時

1,500

1,500

 

 

60 Hz,m 3 /小時

1,800

1,800

進氣口

入口

 

VF-150

VF-200

排氣口

出口

 

VF-100

VF-100

用油

泵油

 

露臺油S46

露臺油S46

油量

油容量

大號

4.2

5.6

大眾

大眾

公斤

490

664

尺寸(寬x深x高)

尺寸尺寸

毫米

1,228 x 520 x 440

1,359 x 580 x 495

冷卻方式

冷卻系統

 

水冷

水冷

冷卻水量

冷卻水

升/分鐘

---

---

輔助泵

后備泵

 

KP-4500BG

KP-7500BG

 

筆記

  • 我們的羅茨真空泵是根據以下規格設計和制造的。
    (1)吸入氣體的種類空氣和惰性氣體(N 2,CO 2,He,Ne,Ar,Kr,Xe,Rn ? ?)
    (2)進氣溫度5-40℃
    (3)環境溫度
    5-40 ℃ (4)常壓泵壓力約1.3k-10 -1 Pa
    (5)其他切勿施加大氣壓。切勿吸入水等液體。
      *如果使用條件與上述條件不同,請與我們聯xi。
  • 在以下應用中使用時,標準真空泵會使油和腐蝕部件變質,導致排氣性能下降,泵體壽命極短。
    (1)腐蝕性氣體(Cl 2,CCl 4,CF 4,BBr 3,HBr 4 ...)[示例]離子注入,蝕刻,CVD等。
          *即使是特殊規格的真空泵,也具有易燃易爆性不要吸入強物質。
    (2)起停次數多時

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