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yutaka高壓標準半導體制造用壓力控制設備 數顯壓力表

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更新日期：2024-03-23

簡要描述：

yutaka高壓標準半導體制造用壓力控制設備L20系列
L20系列專為高壓半導體工藝制造氣體而設計，基本結構為外部金屬密封和焊接接頭，是一種具有優異外部泄漏和顆粒性能的產品。 此外，還提供多種選項來處理各種高純度氣體，使其成為氣瓶柜的理想選擇。

yutaka高壓標準半導體制造用壓力控制設備 數顯壓力表
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yutaka高壓標準半導體制造用壓力控制設備L20系列

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L20系列（高壓標準流量型）


  • 功能

  • 高壓
    焊接金屬墊片配件

  • 調節閥結構

  • 針型

  • 兼容氣體

  • 7類特殊高壓氣體腐蝕性氣體，有毒氣體

    除外

  • 標準流量

  • ~60噸/分鐘

yutaka高壓標準半導體制造用壓力控制設備L20系列

  • 特點

    規范

    入口壓力14.8MPa以下（最大19.6MPa）
    調節壓力最大0.99MPa（量程規格：0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.99MPa
    ）
    原始壓力的波動進口壓力：每0.1MPa，調節壓力變化0.00021MPa
    耐壓壓力22.2MPa （入口側）
    簡歷值0.09
    工作溫度-10~+40°C
    外部泄漏1×10-11Pa?m3/s?He （真空方式）
    內部容積4.67厘米（不包括3個壓力表和配件）
    質量約1.29公斤
    安裝方式使用前面板安裝螺母或后螺釘進行安裝（見外觀）

    • L20系列專為高壓半導體工藝制造氣體而設計，基本結構為外部金屬密封和焊接接頭，是一種具有優異外部泄漏和顆粒性能的產品。 此外，還提供多種選項來處理各種高純度氣體，使其成為氣瓶柜的理想選擇。


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