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更新日期：2025-05-02
簡要描述：
日本ulvac冷陰極電離真空計 SC1G-TRAN系列是基于（1）降低設(shè)備成本、（2）節(jié)省空間、（3）節(jié)省布線的概念開發(fā)的真空計，用于集中過程控制和各種設(shè)備的小型化。它由傳感器單元和顯示單元的基本單元組成，可以根據(jù)應(yīng)用進(jìn)行組合。
日本ulvac冷陰極電離真空計 SC1
G-TRAN系列是基于（1）降低設(shè)備成本、（2）節(jié)省空間、（3）節(jié)省布線的概念開發(fā)的真空計，用于集中過程控制和各種設(shè)備的小型化。
它由傳感器單元和顯示單元的基本單元組成，可以根據(jù)應(yīng)用進(jìn)行組合。
特征
探頭與測量電路一體化結(jié)構(gòu)
模擬輸出和設(shè)定值輸出
獨立的偽對數(shù)輸出和設(shè)定值輸出（顯示單元）
采用 48 x 96mm DIN 標(biāo)準(zhǔn)尺寸（顯示單元）
用途
用于半導(dǎo)體和電子零件等各種制造設(shè)備的過程控制
用于熔爐等各種工業(yè)設(shè)備的過程控制
用于在線式和單晶片式等具有許多工藝室的各種制造設(shè)備的工藝控制
日本ulvac冷陰極電離真空計 SC1
規(guī)格
| 類型 | 傳感器單元 | ||
| 模型 | SC1 | ||
| 自適應(yīng)探頭 | C-21、23、24、25 | ||
| 測量壓力范圍 | 1.0×10 -5至 1.0 Pa | ||
| 測量精度 | +100%，-50%（1.0×10 -4到 1.0×10 -1） | ||
| 工作溫度限制 | 10～40℃ | ||
| 測量值輸出 | 非線性輸出：DC0V 至 10V（HV-OFF 時為 10V） | ||
| SETPOINT1/2 調(diào)整輸出 | 非線性輸出：0 至 10V DC | ||
| 控制輸入信號 | 高壓開/關(guān) | ||
| 輸出信號 | 集電極開路，負(fù)邏輯 | ||
| 控制輸出信號 | 放電確認(rèn)/設(shè)定點 1/2 | ||
| LED顯示屏 | 功率、高壓、壓力保護(hù)、設(shè)定點 1/2 | ||
| 電源 | DC24V±2V, 150mA | ||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub-15 針（M2.6 螺絲） | ||
| 身體質(zhì)量 | 430g（不含觸控筆） | ||
| 配件 | 輸入/輸出連接器 1套 | ||
| 1份快速手冊 |
